• Thiết kế vít cao cấp
• Hiệu quả:
  chi phí vận hành thấp, bảo trì tối thiểu, thời gian hoạt động cao
• Linh hoạt:
  định hướng ứng dụng
• Thời gian xử lý ngắn:
  do tốc độ bơm cao
• Thiết kế nhỏ gọn

COBRA DS 2610/3010 E là máy bơm chân không trục vít khô trong dòng sản phẩm COBRA DS đã được chứng minh. Tốc độ bơm cao của chúng, ngay cả trong những điều kiện cần thông lượng hydro cao, làm cho máy bơm chân không trục vít COBRA DS lý tưởng cho tất cả các quy trình đòi hỏi trong sản xuất pin quang điện, tấm phẳng và chất bán dẫn. Công nghệ bơm chân không trục vít COBRA DS tiên tiến cho phép phương tiện truyền thông dạng bột và hạt được sơ tán.

Bơm chân không trục vít khô COBRA DS có tính năng nén khô, cấu hình trục vít được phát triển đặc biệt và xả khí không bị cản trở. Kết quả là mức độ dung nạp hơi và hạt cao. Các ốc vít được sản xuất từ ​​một vật đúc đơn tránh bất kỳ khoảng trống nào, làm cho sự xâm nhập của chất lỏng hoặc các hạt quá trình không thể, và do đó ngăn ngừa sự ăn mòn.

COBRA DS 2610/3010 E có bộ tăng áp chân không tích hợp theo tiêu chuẩn, cung cấp tốc độ bơm cao hơn và áp lực tối đa. Bơm lùi và trợ lực chân không được kết hợp trên một khung cơ sở nhỏ gọn.

Được trang bị động cơ hiệu suất cao, COBRA DS 2610/3010 E mang lại hiệu quả năng lượng tuyệt vời. Với yêu cầu bảo trì thấp, chi phí vận hành thấp, thời gian hoạt động rất cao và vòng đời dài, tổng chi phí sở hữu rất thấp, thiết lập tiêu chuẩn trong lớp hiệu suất này.

Việc trang bị thêm các máy bơm chân không trục vít này cho các hệ thống hiện có có thể được thực hiện nhanh chóng và dễ dàng do thiết kế phù hợp tại chỗ.

Các ứng dụng

• CVD huyết tương mật độ cao (HDP-CVD)
• Xử lý nhiệt nhanh (RTP)
• CVD dưới khí quyển (SACVD)
• CVD kim loại hữu cơ (MOCVD)
• CVD tăng cường huyết tương (PECVD)
• CVD áp suất thấp (LPCVD)
• Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD)
• Khóa tải công suất cao